表示單向流潔凈室性能好壞的特性指標主要有三項：流線平行度、亂流度和下限風速。
（1）流線平行度
流線平行的作用是保證塵源散發的塵粒不作垂直于流向的傳播。如果這種傳播范圍在允許范圍內，那么流線略有傾斜也是允許的。
美國對于單向流潔凈室高度規定為不小于2.7m，規定的工作區高度比較高。有些操作區可能會在比工作區高的地方，一般這些區域不會超過人的高度，大約在1.8m。如果一個工作人員站著進行操作，應避免距離地面1.8m處散發的塵粒降落到離地面0.75m高時，超過該工作人員的工作范圍，進入到相鄰工作人員的工作范圍，對相鄰區域環境造成影響。例如，一個工作人員在桌面上的操作范圍為1m，如果人站立操作，距離桌面1.05m處散發的塵粒在降落到桌面時，仍未超出自己的工作范圍，就不會對相鄰區域的工作人員造成污染。因此，如果流線是斜直線，那么流線與水平面的傾斜角應大于arctan1.05/0.5=65º，這個流線傾斜角同樣也適用于水平單向流潔凈室。
如果流線是漸變流的曲線，那么其和工作區下限平面的交點以及和下限平面之上1.05m處的平面的交點之間的連線，與水平方向的傾角應大于65º。
美國有關100級(5級)單向流潔凈室的驗收規定中，對于氣流流線的平行度的規定是：從頂棚以下92cm到地面以上76cm的區域，風速的水平分量不應使塵粒側向散布距離超過60cm。因為美國對單向流潔凈室高的規定是不小于2.7m，換算成流線傾斜角則約為61º。流線平行度角度要求每根流線的傾角不僅要大于65º，而且相鄰兩根流線的夾角也要盡可能小。總之，單向流潔凈室要求流線之間既要平行，在0.5m距離內線間夾角大不能超過25°，又要求流線盡可能垂直于送風面，其傾斜角不能小于65º，或者簡單用流線偏離垂直線的角度表示，GB 50591- 2010《潔凈室施工及驗收規范》規定該角不應大于15º。
（2）亂流度(速度不均勻度)
速度場均勻對于單向流潔凈室是極其重要的，不均勻的速度場會增加速度的脈動性，促進流線間質點的摻混。亂流度是為了說明速度場的集中或離散程度，用于不同速度場的比較。
（3）下限風速
下限風速是指保證潔凈室能控制以下四種污染氣流的小風速：
1）當污染氣流多方位散布時，送風氣流要能有效控制污染的范圍；不僅要控制上升高度，還要控制橫向擴散距離。
2）當污染氣流與送風氣流同向時，送風氣流要能有效地控制污染氣流到達下游的擴散范圍。
3）當污染氣流與送風氣流逆向時，送風氣流應能將污染氣流抑制在必要的距離之內。
4）在全室被污染的情況下，要能以合適的時間迅速使室內空氣自凈。
下限風速是潔凈室應經常保持的低風速，過濾器阻力升高風速將下降，因此確定初始風速時要考慮這個因素或使風量、風速可以調節。ISO 14644-1標準對單向流潔凈室建議的平均風速是：ISO 5級（100級）0.2～0.5m/s；高于ISO 5級（100級）0.3～0.5m/s。