檢測目的：確定潔凈室空氣處理系統的容量，以維持空氣溫度和相對濕度在限度內。
檢測儀器設備：數字溫濕度儀
檢測條件：靜態
平均溫度：19～21℃（ISO 4級潔凈室與更衣室）
     19.5～25℃（ISO 5級潔凈室與6級更衣室）
平均相對濕度：40%～70%
檢測步驟：
1、檢測進行前完成全部氣流平衡。
2、檢測進行前空調系統至少連續運行24h。
3、潔凈室劃分的檢測網格不大于40m²。
4、溫度、濕度計置于檢測網格中心，地板以上1m處。
5、當室內存在障礙物，監測點高于障礙物表面6英寸。
6、各網格的讀值需被記錄。
7、潔凈室平均溫度和平均相對濕度根據檢測數據進行計算。