氣流目檢的目的是確認潔凈室或設施中氣流的空間與時間特性，這是整個測試程序的組成部分。為了有效的稀釋或排替室內空氣的懸浮污染物，從而防止室內的污染積累，以維持其所需的潔凈度。因此，室內合理的氣流流型，以及充分的氣流流動至關重要。
為保證關鍵區域達到潔凈的水平，希望送風直接來自高效過濾器出風口，但設備、照明燈具所產生的熱量有可能干擾氣流，障礙物會妨礙送風進入關鍵區；障礙物或工藝設備的外形，可使單向流變成紊流等。通過目檢氣流的運動狀況，可以發現是否存在上述相關情況，可以發現在哪些部位形成了渦流，不利于污染物排除。
1、氣流目檢的方法
可用以下3種方法進行氣流目檢：
（1）示蹤線法
（2）示蹤劑注入法
（3）用圖像處理技術檢測氣流的方法
前兩種方法實際上是用置于流場的纖維示蹤，或利用引入流場的示蹤微粒物質來目檢潔凈室或潔凈設施中氣流的流向。用攝像機、化學膜、磁盤或磁帶記錄下各不同位置氣流的分布圖。
目檢中所采用的纖維示蹤線或示蹤微粒應對潔凈室無污染，同時能確切的跟隨、反映氣流的流線。
第三種方法適用于要求量化潔凈室或設施內氣流速度分布的情況，這種方法是基于示蹤粒子的計算機圖像處理技術，對檢測設備的要求較高。
2、氣流目檢的操作
無論采用何種方法，在檢測中都要格外注意防止操作者干擾正在進行考察的氣流。具體操作方法如下：
（1）示蹤線法
通常把單根尼龍纖維、絲線或塑料薄膜帶等輕柔物質固定在支撐桿的尖頂，并將其置于氣流中或綁扎在處于氣流中的細鋼絲網格的交叉點處，以觀察氣流的方向和因干擾引起的氣流波動。為觀察方便、清晰，較強的照明是必要的。
（2）示蹤劑注入法
通常采用的示蹤材料如去離子水，噴霧法或化學法生成乙醇/正二醇等材料的示蹤粒子。要求示蹤劑對環境，特別是對潔凈室及設備表面無污染，同時便于形成合適的粒子尺寸。過小液滴尺寸不利于圖像處理技術的圖像質量，過大的液滴尺寸又可能在運動過程中受重力和其他力作用的影響而偏離氣流流線。測試中靠高強度光源在隨氣流運動的示蹤粒子表面形成的反射，便于測試者用眼睛觀察或用設備形成圖像，來判定氣流的方向和均勻性。
（3）用圖像處理技術檢測氣流的方法
采用上述示蹤劑注入法得到的在攝像機或膜上的粒子圖像數據，用配置有適用接口的計算機，通過記錄相關資料數字的處理軟件，在計算機屏幕上可觀看氣流特性，還在所觀測氣流中可輔以激光光源等裝置以提高其空間分辨率。
3、關于氣流流型的測點布置
ISO 14644等相關標準對測點布置未作規定，建議由用戶與供應商協商，選擇測量點的數目和位置，測試點或平面位置定在臨界工作平面內。如果要評估氣流方向的均勻性，則宜選擇較多的測點。因此，一般由測試單位按常規提出方案，征得用戶和供應商、承包商認同即可。
國內行業標準JGJ71-90《潔凈室施工及驗收規范》中，作了如下規定：
（1）垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各1個，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各1個；水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區高度水平面各1個，以及距送、回風墻面0.5m和房間中心處3個橫剖面。所有面上的測點間距均為0.2～1m。
（2）亂流潔凈室選擇通過代表性送風口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面各1個。剖面上測點間距為0.2～0.5m，水平面上測點間距為0.5～1m，兩個風口之間的中心線上應有測點。
4、測試報告
按照用戶與供應商、承包商的協議，在報告中應提供以下資料和數據：
（1）測試單位的名稱、通信資料，測試人姓名、測試日期；
（2）所測潔凈室或設施名稱及毗鄰區域的名稱、測試點坐標；
（3）參照的相關標準編號、版本日期、的性能標準及潔凈室所處狀態；
（4）由雙方認可的、所采用的測試方法與常規方法不同之處或特殊條件；
（5）測試儀器的名稱及其校準狀態；
（6）測試類型、目檢方法和測試條件；
（7）目檢點位置；
（8）按規定記錄的圖像，采用圖像處理技術或速度分布測量時，各次測量的原始數據。