由于潔凈室對(duì)排除室內(nèi)污染物的要求高，因此比一般空調(diào)房間的通風(fēng)換氣量要大很多。1～5級(jí)高級(jí)別潔凈室的通風(fēng)換氣次數(shù)甚至高達(dá)幾百次之多，是普通舒適性空調(diào)房間換氣次數(shù)的幾十倍。正因?yàn)樾枰薮蟮耐L(fēng)換氣量，從節(jié)省驅(qū)動(dòng)能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發(fā)，就要盡可能拉近機(jī)房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內(nèi)的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的原因之一。由于機(jī)械設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)造成的機(jī)械振動(dòng)與噪聲、空調(diào)凈化系統(tǒng)較高的靜壓值及系統(tǒng)中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調(diào)系統(tǒng)更為突出，因此潔凈室的噪聲與微振成為了其性能的關(guān)注目標(biāo)之一。潔凈室內(nèi)一般的生產(chǎn)操作和設(shè)備都十分精細(xì)，過高的噪聲與微振將影響工作效率、產(chǎn)品成品率。同樣，多數(shù)潔凈室対照度也有較高要求，這也與其產(chǎn)品與工藝的細(xì)微有關(guān)。
1、相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)定
潔凈室的噪聲、微振與照度，相關(guān)規(guī)范ISO 14644均未作具體要求，而是建議由用戶與供應(yīng)商、承包商依照其它相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，采用協(xié)商一致的辦法在合同中規(guī)定。工程竣工時(shí)依合同的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001對(duì)噪聲的限制值規(guī)定如下：
（1）潔凈室內(nèi)的噪聲聲級(jí)（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB（A）。各頻帶聲壓級(jí)不宜大于下表規(guī)定：

（2）潔凈室的容許振動(dòng)值，應(yīng)由所設(shè)置精密設(shè)備、精密儀器或儀表的設(shè)備制造廠商和生產(chǎn)工藝部門提供。當(dāng)用戶和相關(guān)部門不能提供容許振動(dòng)值時(shí)，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001建議，可參照GBJ22《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》執(zhí)行。具體指標(biāo)在檢測(cè)工作開展之前，仍需與用戶及供應(yīng)商、承包商協(xié)商確定。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001對(duì)潔凈室的照度有下表規(guī)定：

2、噪聲、微振與照度的檢測(cè)
（1）噪聲測(cè)試
按照國(guó)內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ 71-90《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》的規(guī)定，潔凈室面積在15m²以下時(shí)，可在室中心位置測(cè)量房間噪聲，大于15m²時(shí)，一般按5個(gè)測(cè)點(diǎn)采樣，除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外，另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)高度一般距地面1.1m。通常采用帶倍頻程分析儀的聲級(jí)儀在規(guī)定位置測(cè)定噪聲，一般僅測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值，必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。
對(duì)于噪聲有更嚴(yán)格要求的場(chǎng)所需要測(cè)定噪聲標(biāo)準(zhǔn)曲線NC或房間標(biāo)準(zhǔn)曲線RC，可參考NEBB所編寫的《潔凈室評(píng)價(jià)測(cè)試的學(xué)習(xí)課程》。
（2）微振測(cè)試
國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)建議測(cè)點(diǎn)選在室中心地面和認(rèn)為有必要測(cè)試振動(dòng)的位置和地面上，以及壁板裝配式潔凈室的各獨(dú)立壁板表面的中心處。
應(yīng)分別測(cè)出室內(nèi)全部空調(diào)凈化設(shè)備，處于正常運(yùn)轉(zhuǎn)和停止運(yùn)轉(zhuǎn)兩種情況下，X、Y、Z，即縱向、橫向和垂直軸3個(gè)方向上的振幅值，并應(yīng)特別注意測(cè)定同轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備的轉(zhuǎn)速相對(duì)應(yīng)頻率下的振幅。
選用振動(dòng)分析計(jì)測(cè)定微振時(shí)，要注意其檢測(cè)精度是否滿足測(cè)試要求。
（3）照度測(cè)試
室內(nèi)照明必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源光輸出趨于正常的條件下進(jìn)行。一般要求新裝日光燈已有100h，新裝白熾燈已有10h使用期；舊日光燈必須已點(diǎn)燃15min，舊白熾燈已點(diǎn)燃5min后進(jìn)行測(cè)試。
通常規(guī)定潔凈室照度只測(cè)除特殊照明之外的一般照明。國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，測(cè)點(diǎn)平面離地面0.8m，按1～2m間距布置，測(cè)點(diǎn)宜離地面0.5～1.0m。
NEBB要求將房間劃分為0.6m見方的小面積，在離地面760mm的中心位置測(cè)照度，關(guān)于照度平均值的獲得還有一系列規(guī)定與方法，詳見NEBB《潔凈室評(píng)價(jià)測(cè)試的學(xué)習(xí)課程》。