1、將待測的過濾器外孔板拆開。
2、將三通手柄打到DOWNSTREAM位置，準備使用掃描槍取樣。
3、用掃描槍在被測過濾器區域內來回掃描, 掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊，掃描槍未端應和過濾器表面相距大約2.54CM左右,掃描速度不得超過每秒鐘5CM。
4、讀出并紀錄掃描槍手柄或光度計面板顯示數據。
5、檢測過程中，若有報警聲（即%LEAKAGE （泄漏率）超過0.01，表明有泄漏。泄漏處經用硅膠堵漏或緊固以后再進行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5MIN左右，在測試的過程中，應經常確認上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應帶防護面罩和防護眼罩。
6、結果判定及處理：過濾器泄漏率應小于等于0.01%。若過濾器在檢測過程中，所有點的%LEAKAGE （泄漏率%）都不超過0.01%，則判該過濾器合格，若有一處%超過0.01%，則判為不合格，并將該點標記出來，需修補或更換。單個泄漏處的面積不能大于總面積的1%，全部泄漏處的面積不能大于總面積的5%，否則必須更換。