10萬級無塵車間空氣凈化系統的清潔和維保一般由設備工程部和操作人員全面負責，需要制訂出清潔和維保計劃以及實施方法，并按計劃實施清潔和維保。
送風口、回風口應進行日常清潔
除例行的清潔與維保之外，根據空氣監測結果或突發性異常情況的發生，必要時應進行臨時性的清潔與維保。
空調機組及機組用管道無滴、冒、跑、漏現象。
空調機組內設備半個月檢查一次傳動三角帶，每星期檢查臭氧發生器，半年1次風機加耐高溫潤滑油。
空調機組每隔一年檢修一次，每隔二年大修一次，并做好除銹處理及油漆。
其它設備、附件（靜壓箱、風閥、蒸汽管道、冷凍冷凝水管閥門及冷卻除污器及有關的電器設備等）的維護保養。
靜壓箱
用光照檢查是否有漏點。
靜壓箱定位，拉緊線材是否完好。
每2年油漆一次。
風閥
每年拉動風閥，調節手柄，使其達到開或關靈活，當調節風閥時，應慢慢打開或關小開啟度。
每2年對風管燈檢漏一次。
風管每處對其內部清洗，除污處理，具體步驟：拆除主風管，用酒精和飲用水清洗，小風管小彎處拆除，用洗滌劑和飲用水清洗，完畢后用干絲巾擦干，風管安裝以后應檢漏。
每年對風管定位材料檢查有無移位，松動及除銹，油漆。
保溫材料及層外包裹每年檢查一次，有無破損、松散。
空調用蒸汽管道和冷水、冷卻水管道、閥門。
管道及法蘭口每年檢查一次是否漏水。
閥門連接使用過程中應經常檢查。