按照ISO 14644-5的建議，需要對(duì)參與清潔工作的所有人員，制定一個(gè)專門的培訓(xùn)計(jì)劃，而且清潔計(jì)劃中的各個(gè)部門都要指派專人負(fù)責(zé)。一般是由專業(yè)化的清潔人員負(fù)責(zé)潔凈室的全面清潔工作，而工作臺(tái)面、操作部位等，則指派經(jīng)過(guò)適當(dāng)培訓(xùn)的潔凈室操作人員自行清潔各自所使用的范圍。
制定清潔計(jì)劃時(shí)，應(yīng)該充分了解不同類型潔凈室表面的分類及其受污染的速率，所安排的清潔計(jì)劃及時(shí)間表應(yīng)確保潔凈室保持所要求的潔凈度。應(yīng)該了解潔凈室中的工藝和產(chǎn)品是在當(dāng)日還是一周或其它時(shí)間間隔內(nèi)完成的。這也影響到清潔計(jì)劃的制定。進(jìn)行表面污染的測(cè)試和評(píng)估有助于清潔計(jì)劃時(shí)間表的制定。
1、清潔計(jì)劃的制定
ISO 14644-5“運(yùn)行篇”對(duì)潔凈室清潔計(jì)劃的確定給出了如下建議：
（1）將潔凈室內(nèi)的所有表面按關(guān)鍵、一般或其它表面進(jìn)行分類。
（2）確定達(dá)到相應(yīng)潔凈度級(jí)別要求的清潔和表面處理方法。
（3）確定每一種表面維持需要潔凈度水平所需清潔的頻率。
（4）確定在正常工作時(shí)間內(nèi)可以完成哪種清潔作業(yè)。
（5）準(zhǔn)備清潔工作日程安排表。
（6）確定安排表中哪些部分由潔凈室操作人員完成。
（7）按規(guī)定的方法選擇正確的材料、設(shè)備、清潔液和表面處理方法。
（8）按清潔計(jì)劃中的不同參與程度，對(duì)各種人員進(jìn)行相應(yīng)的培訓(xùn)。
（9）為所需用的清潔材料提供適用的存放裝置。
（10）決定如何監(jiān)測(cè)清潔的效果，以及對(duì)偏差如何處理。
（11）匯總?cè)肯嚓P(guān)文件和安排表，以便對(duì)清潔工作進(jìn)行有效的審核和管理。
2、清潔的頻率和監(jiān)測(cè)
大部分清潔工作都應(yīng)按正規(guī)的時(shí)間安排定期、頻繁的進(jìn)行，只有小部分清潔作業(yè)雖按正規(guī)的時(shí)間安排定期進(jìn)行，但無(wú)需過(guò)于頻繁。有些清潔工作是針對(duì)污染產(chǎn)生的特殊情況來(lái)安排的，而不是按正常的時(shí)間表進(jìn)行的。總體來(lái)說(shuō)，清潔的頻率應(yīng)符合潔凈室的需求，在實(shí)踐中要根據(jù)工藝的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)定和清潔效果的評(píng)估進(jìn)行必要的調(diào)整。清潔頻率可概括為以下幾種情況：
（1）每日清潔
一般區(qū)域按規(guī)定應(yīng)每日清潔，即至少24h清潔一次。如氣閘室、更衣區(qū)至少每日清潔一次，這些場(chǎng)所人員活動(dòng)高度頻繁，受到較嚴(yán)重的污染。因此，要求清潔的頻率高于潔凈室。這些地方要按規(guī)定方法進(jìn)行真空吸塵和拖擦等清潔工序，以防止污染物遷移到潔凈室。
（2）定期清潔
不是每日清潔的表面應(yīng)該定期清潔，例如每周一次或兩次。清潔時(shí)，產(chǎn)品可能需要覆蓋或從該區(qū)內(nèi)移走。風(fēng)險(xiǎn)較小的表面可以安排較少的清潔次數(shù)，例如每個(gè)月或更長(zhǎng)的時(shí)間間隔內(nèi)清潔一次。例如潔凈室的某些墻面或頂棚，在清潔日程安排中也應(yīng)列入計(jì)劃。還應(yīng)在計(jì)劃中安排*清潔整個(gè)潔凈室設(shè)施的內(nèi)容，其范圍應(yīng)包括貯存區(qū)、服務(wù)區(qū)、管道和設(shè)備等的清掃工作，盡量安排在潔凈室較長(zhǎng)時(shí)間停止生產(chǎn)的周末、假日或計(jì)劃內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)施停止期內(nèi)進(jìn)行。一般情況下，潔凈室都是連續(xù)運(yùn)行的，能*清潔的次數(shù)一年中可能不多，更需要事先安排好，并做好人力與物質(zhì)的準(zhǔn)備，一旦生產(chǎn)設(shè)施停運(yùn)，抓緊時(shí)間做好*清潔工作。
（3）緊急情況時(shí)的清潔
除了上述各種常規(guī)狀態(tài)的清潔計(jì)劃外，還應(yīng)制定一套應(yīng)急措施，并配備相應(yīng)所需的工具、材料，以應(yīng)對(duì)潔凈室在特殊意外情況下，突發(fā)大量污染時(shí)，不至于危及到正在進(jìn)行的生產(chǎn)、工藝過(guò)程和潔凈室環(huán)境。在這種情況下，在可能有風(fēng)險(xiǎn)的區(qū)域內(nèi)，生產(chǎn)應(yīng)在暫停，直至清潔恢復(fù)到可接受的潔凈度水平。
可能需要特殊清潔的情況通常包括：
1）環(huán)境事故，如動(dòng)力故障，主要設(shè)備故障、產(chǎn)品破損、生物危害物溢出等。
2）常規(guī)的清潔程序失效，導(dǎo)致潔凈室污染達(dá)到不可接受的水平。
3）監(jiān)控儀器顯示潔凈室設(shè)施發(fā)生了不可接受的污染。
（4）監(jiān)測(cè)及檢測(cè)清潔工作的有效性
潔凈室的設(shè)備、器具及其它表面，某些要求較高的潔凈室可能要求在清潔后進(jìn)行潔凈室測(cè)試，由潔凈室用戶選擇合適的潔凈度檢測(cè)、驗(yàn)證方法，由用戶確定能保證潔凈室的產(chǎn)品和工藝質(zhì)量的可接受的潔凈度及其限制范圍。ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)建議在可能時(shí)，應(yīng)通過(guò)實(shí)際測(cè)量來(lái)確定限制。